手套箱在OLED器件制作過程中的應用

OLED，即有機發光二極管（Organic Light-Emitting Diode），是一種全新的顯示技術。與LCD相比，可視角度寬（大于170°）、響應時間快（LCD的千分之一）、低溫特性好（在零下40度正常顯示）、低功耗等優點，簡易封閉手套箱，被業界廣泛看好成為下一代顯示技術，現在已廣泛應用于車載顯示器、手機顯示屏等等。并且隨著OLED技術發展，白光OLED在照明領域也開始嶄露頭角，尤其在城市照明、廣告牌等行業被寄予非常高期望。

通常所說OLED其實包含小分子OLED和高分子OLED（也稱PLED）兩種。小分子OLED和高分子OLED的差異主要表現在器件的制備工藝不同：小分子器件主要采用真空熱蒸發成膜工藝，高分子器件則采用旋轉涂覆或噴涂印刷成膜工藝。

OLED器件的制備工藝大致包括：ITO玻璃清洗→光刻→再清洗→前處理→真空蒸鍍有機層→真空蒸鍍背電極→真空蒸鍍保護層→封裝→切割→測試→模塊組裝→產品檢驗等十幾道工序

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手套箱操作前的工作

1、檢查氮氣瓶里是否有氮氣，氮氣要及時更換，氮氣的輸出壓力設定為0.5mpa。

2、檢查真空泵是否正常開啟。

3、檢查手套箱內循環是否打開。（凈化柱-I或凈化柱-II要打開其中的一個）

4、檢查設定里的上限壓力應為+1，下限壓力為0

5、檢查氧和露1點是否正常（氧為0.1ppm以下，真空手套箱，露1點-40以上）

6、過度艙真空泵應處于常開狀態

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手套箱故障分析

一、工作氣壓力過低

1. 檢查工作氣體是否充足；

2. 減壓表是否損壞。

二、循環自動停止

1. 箱體壓力過高會造成手套箱自動停止循環，北京手套箱，檢查是否有工作氣持續補進去；

2. 箱體壓力過低造成手套箱循環自動停止循環，檢查過渡艙是否關嚴；檢查其他有可能沒有關嚴造成跟真空泵直通；

3. 檢驗壓力傳感器是否損壞。

4. 檢查氣源壓力是否在0.4-0.6MPa

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