型號 Vertex251HM/HC Vertex251UM/UC Vertex311HM/HC Vertex311UM
XY?精度 Uxy=2.0+L/200 Uxy=1.8+L/200 Uxy=2.6+L/200 Uxy=2.0+L/200
Z?精度 Uz=2.0+L/150 Uz=2.0+L/150 Uz=2.0+L/150 Uz=2.0+L/150
XY?重現性 2.0μm 1.8μm 2.6μm 2.0μm
Z?重現性 2.0μm 2.0μm 2.0μm 2.0μm
XY?加速度 500mm/S2
Z?加速度 200mm/S2
XY?移動速度 250mm/s
Z?移動速度 100mm/s
光學尺分辨率 0.1μm
量測行程 250x160x160mm 315x315x160mm
外形尺寸 606x800x775mm 720x1085x1030mm
重量 120kg 150kg
承載重量 10kg 12kg
基座材質 鋁合金
傳動方式 Unique?Monorail?X?&?Y?Design,?Monorail?Linear?Z
電控系統 伺服系統:?CNC,?鼠標,搖桿
光學系統 6.5:1光Zoom, 12:1光學Zoom, 6.5:1光學Zoom, 12:1光學Zoom,
放大倍率 20-390x 15-540x 20-390x 15-540x
影像&光源 紅光LED?(黑白系統)或白光?LED(彩色系統)
軟件 InSpec?for?Windows?Metrology?Software
工作環境 20℃±2°,30-80%?濕度
備注 Vertex311系列可選擇加高型,Z軸250mm