?鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

VEGA系列的設計適合各種SEM應用及當今研究和工業的需求。經過10多年的不斷發展，TESCAN已經成功開發、研制和制造了VEGA的第三代產品。新一代的VEGA給用戶帶了zui新的技術優勢，包括改進的高性能電子設備使成像速度更快，包含了靜態和動態圖像扭曲補償技術的超快掃描系統，內置的編程軟件等，使VEGA系列產品保持著非常高的性價比。
LaB6發射源
TESCAN能提供介于肖特基與鎢燈絲性能之間的LaB6（六硼化鑭）作為電子發射源。LaB6的優勢包括：穩定的電子發射源（與場發射電子源相比），在陰極較低溫度下可獲取比較高的束流（與鎢燈絲電子源相比）。這就意味著在整個范圍的加速電壓和很長的使用壽命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的發射電流，LaB6是需要大電子束流應用領域的正確選擇。
現代電子光路
?獨特的四透鏡大視野光路設計提供各種各樣的工作與顯示模式
?以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同"光闌轉換器"
?透鏡與線圈的優質材料使成象率達到20ns/像素，并減少了動態扭曲效應
?結合了完善的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing?），可模擬和優化電子束
?鏡筒設計提供了全自動電子光路設置，鏡筒不含機械對中結構
?3維電子束技術提供了實時立體圖像
檢修方便
只要很短的停機檢查后就能保持電鏡長時間處于zui佳狀態。每個細節設計得很仔細，使得儀器的效率zui大化，操作zui簡化。
自動操作
通過一次點擊就可以進行自動燈絲加熱和電子槍對中。眾多的自動程序減少了用戶的操作時間，并提供了操作的自動導航與自動化分析。通過內置腳本語言（Python）用戶可以進入軟件大多數功能，包括電鏡控制、樣品臺導航、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶也可以自定義軟件的自動操作。
用戶界面友好的軟件
?用戶界面有各種語言版本
?多用戶界面（包括了EasySEMTM模式）不同賬戶的權利使常規分析過程更快
?圖像文件管理與報告生成
?內置的自動系統檢查
?通過局域網或互聯網可實現電鏡遠程診斷
?模塊化軟件體系結構
?標準的軟件模塊包括了：測量工具、圖像處理、對象區域等
?選配軟件包括了：顆粒度分析、三維表面重構等
VEGA3 GM
VEGA3 GM是一款由計算機控制，可在高低真空模式下工作的全自動鎢燈絲(選配LaB6)掃描電子顯微鏡，具有突出的光學性能，清晰的數字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows?平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。
VEGA3 XM
VEGA3 XM是一款由計算機控制，可在高低真空模式下工作的全自動鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學性能，清晰的數字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows?平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。
VEGA3 LM
VEGA3 LM是一款由計算機控制，可在高真空和低真空模式下工作全自動化鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學性能，清晰的數字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows?平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。
VEGA3 SB - EasyProbe
VEGA 3 SBU - EasyProbe是一款掃描電子顯微鏡（SEM）與X-射線能譜儀（EDS）的一體化系統，其具有圖像質量高，自動化程度高，操作簡單，能實時快速進行元素分析等特點。另外，可變真空模式下，用戶可以在自然狀態下觀測不導電樣品。
VEGA3 SB
VEGA3 SB是一款完全由計算機控制的全自動鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學性能，清晰的數字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows?平臺，VEGA系列的操作系統配置了包括中文在內的多語種掃描電鏡操作界面（唯yi使用核心漢化操作軟件的掃描電鏡），獲取圖片后可以用常見的標準格式存儲圖像，強化了圖片歸檔、圖像處理和測量、電鏡自動化及其他的一些自動功能。
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鎢燈絲掃描電鏡 VEGA
?VEGA3 GM
?VEGA3 XM
?VEGA3 LM
?VEGA3 SB - EasyProbe
?VEGA3 SB
產品列表
-- 選擇產品 --
應用實例

更多圖片



?鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

VEGA3 GM是一款由計算機控制，可在高低真空模式下工作的全自動鎢燈絲(選配LaB6)掃描電子顯微鏡，具有突出的光學性能，清晰的數字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows?平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。
?概述
分析潛力
?GM樣品室配備有5軸馬達驅動樣品臺
?多于20個接口，優化的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）
?一流YAG閃爍器式探頭
?可選各種探頭和配件
?渦輪分子泵和機械泵同時工作，幾分鐘即可達到儀器操作需要的真空狀態
?在可變真空模式下可觀測不導電的樣品（XMU型號）
?可選樣品室減振方式
?3維Metrology軟件提供了三維重構與3維測量功能
VEGA3配置

GM型號適合觀測大樣品。


VEGA3 GMH
超大樣品室，高真空模式，適用于觀測大型導電材料。


VEGA3 GMU
可變真空式掃描電鏡，體現了高真空模式和低真空模式的優點。在低真空模式下可以觀測不導電的樣品，不需要噴金。
配件
二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG 閃爍體）
可移動式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動環行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數分辨率（0.1Z）
低真空二次電子探頭
探針電流測量
壓差式防碰撞報警裝置
可觀察樣品室內部的紅外線攝像頭
冷臺
等，各種配件可供選擇

標配：
?測量
?圖象處理
?3維掃描
?硬度測量
?多圖像校準
?對象區域
?自動關機時間
?公差
?編程軟件
?定位
?投影面積
?EasySEMTM

根據實際配置和需求


鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

VEGA3 XM是一款由計算機控制，可在高低真空模式下工作的全自動鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學性能，清晰的數字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows?平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。
?概述
分析潛力
?XM樣品室配備有5軸馬達驅動樣品臺
?多于12個接口，優化的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）
?一流YAG閃爍器式探頭
?可選各種探頭和配件
?渦輪分子泵和機械泵同時工作，幾分鐘即可達到儀器操作需要的真空狀態
?在可變真空模式下可觀測不導電的樣品（XMU型號）
?可選樣品室減振方式
?3維Metrology軟件提供了三維重構與3維測量功能
VEGA3配置
XM型號適合觀測大樣品。
VEGA3 XMH
超大樣品室，高真空模式，適用于觀測大型導電材料。
VEGA3 XMU
可變真空式掃描電鏡，體現了高真空模式和低真空模式的優點。在低真空模式下可以觀測不導電的樣品，不需要噴金。
?軟件
標配：
測量
圖象處理
3維掃描
硬度測量
多圖像校準
對象區域
自動關機時間
公差
編程軟件
定位
投影面積
EasySEMTM

根據實際配置和需求
?
?技術規格
?配件
?二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG?閃爍體）
?可移動式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動環行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數分辨率（0.1Z）
?低真空二次電子探頭
?探針電流測量
?壓差式防碰撞報警裝置
?可觀察樣品室內部的紅外線攝像頭
?冷臺
等，各種配件可供選擇
?
?圖片
?其他
鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

VEGA3 LM是一款由計算機控制，可在高真空和低真空模式下工作全自動化鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學性能，清晰的數字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows?平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作方式和完整的圖像采集功能，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。
?概述
分析潛力：
?LM大樣品室、5軸馬達驅動樣品臺
?樣品室有11個接口，適用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探頭
?一流YAG 閃爍體探頭
?選配包括了各種探頭于可選的配件
?渦輪分子泵和機械泵同時工作，幾分鐘可達到儀器操作需要的真空狀態
?在可變真空模式下可觀測不導電的樣品（LMU型號）
?可選的樣品室減振方式
?3維Metrology軟件提供了三圍重構與3維測量功能
VEGA3配置
VEGA3 LMH
高真空式SEM，配備有5軸馬達驅動樣品臺，適用于觀測小型導電樣品。
VEGA3 LMU
可變真空式SEM，體現了高真空模式和低真空模式的優點。在低真空模式下可以觀測非導電樣品，不需要噴金。

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鎢燈絲掃描電鏡 VEGA
?VEGA3 SB
?VEGA3 SB - EasyProbe
?VEGA3 LM
?VEGA3 XM
?VEGA3 GM
產品列表
-- 選擇產品 --
應用實例

更多圖片

?軟件
標配：
?測量
?圖象處理
?3維掃描
?硬度測量
?多圖像校準
?對象區域
?自動關機時間
?公差
?編程軟件
?定位
?投影面積
?EasySEMTM
選配：
根據實際配置和需求
?
?技術規格

Electron Gun:	鎢燈絲/LaB6
Resolution:	高真空（SE）：	3 nm @ 30 kV / 2 nm @ 30 kV
	8 nm @ 3 kV / 5 nm @ 3 kV
低真空模式（LVSTD，BSE）：	3.5 nm @ 30 kV / 2.5 nm @ 30 kV

Magnification:	2~1,000,000x
Maximum Field of View:	
Accelerating Voltage:	從200 V 至 30 kV
Probe Current:	
	

?
?配件
標配：
?二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG?閃爍體）
?可移動式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動環行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數分辨率（0.1Z）
?探針電流測量
?壓差式防碰撞報警裝置
?可觀察樣品室內部的紅外線攝像頭
?冷臺
?等，各種附件可供選擇
?
?圖片
?其他
鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

VEGA 3 SBU - EasyProbe是一款掃描電子顯微鏡（SEM）與X-射線能譜儀（EDS）的一體化系統，其具有圖像質量高，自動化程度高，操作簡單，能實時快速進行元素分析等特點。另外，可變真空模式下，用戶可以在自然狀態下觀測不導電樣品。
?概述
特點：
?SB型號樣品室裝有3軸馬達驅動的樣品臺
?一流YAG閃爍體探測器
?樣品室有10個接口可用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探測器
?可選配其他探測器和附件
?渦輪分子泵和機械泵同時工作幾分鐘可達到儀器操作需要的真空狀態
?在可變真空模式下可觀察非導電的樣品（SBU型號）
?利用3D Metrology軟件可以實現3維重構及測量功能
VEGA3 SB-Easyprobe配置
VEGA3 SBH-Easyprobe
高真空型SEM，配備有3軸馬達驅動樣品臺，適用于觀察小型導電樣品。同時可完成元素分析。

VEGA3 SBU-Easyprobe
可變真空型掃描電鏡，體現了高真空模式和低真空模式的優點，可以在不噴金的情況下利用低真空模式直接觀察不導電樣品。同時可完成能譜分析。
?軟件
標配：
測量
圖象處理
3維掃描
硬度測量
多圖像校準
對象區域
自動關機時間
公差
編程軟件
定位
投影面積
EasySEMTM

選配：
根據實際配置和需求
?
?技術規格
?配件
?二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG?閃爍體）
?可移動式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動環行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數分辨率（0.1Z）
?低真空二次電子探頭
?探針電流測量
?壓差式防碰撞報警裝置
?可觀察樣品室內部的紅外線攝像頭

各種配件可供選擇
?
?圖片
?其他


鎢燈絲掃描電鏡 VEGA

VEGA3 SB是一款完全由計算機控制的全自動鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的光學性能，清晰的數字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于Windows?平臺，VEGA系列的操作系統配置了包括中文在內的多語種掃描電鏡操作界面（唯yi使用核心漢化操作軟件的掃描電鏡），獲取圖片后可以用常見的標準格式存儲圖像，強化了圖片歸檔、圖像處理和測量、電鏡自動化及其他的一些自動功能。


?概述
?軟件
?技術規格
?配件
?圖片
?其他
分析潛力
?SB型號樣品室裝有3軸馬達驅動的樣品臺
?一流YAG 閃爍體探測器
?樣品室有10個接口可用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探測器
?可選配其他探測器和附件
?渦輪分子泵和機械泵同時工作幾分鐘可達到儀器操作需要的真空狀態
?在可變真空模式下可觀察非導電的樣品（SBU型號）
?利用3 D Metrology軟件可以實現3維重構及測量功能
VEGA3配置
VEGA3 SBH
高真空型SEM，配備有3軸馬達驅動樣品臺，適用于觀察小型導電樣品。
VEGA3 SBU
可變真空型掃描電鏡，體現了高真空模式和低真空模式的優點，可以在不噴金的情況下利用低真空模式直接觀察不導電樣品。

亞科電子簡介
亞科電子（包括北京亞科晨旭科技有限公司，亞科香港電子科技有限公司等）成立于1998年。自公司成立以來就專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務。目前公司擁有一批在電子裝配、微電子封裝及半導體制造等領域經驗豐富的專業技術團隊，專業服務于混合電路、光電模塊、MEMS、3D封裝（含TSV工藝）、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。亞科電子不僅能為客戶提供量身訂制的高性能成套設備方案，還可以根據客戶的需要提供可行的工藝技術咨詢。通過多年對國際先進技術和工藝發展的跟蹤，亞科電子還能為客戶提供完整的LTCC生產設備和工藝咨詢，電纜加工設備等。
    目前亞科電子已與眾多國際知名微電子封裝和半導體制造設備企業建立了良好的合作關系（如：PALOMAR、HYBOND、SSEC、HESSE、CENTROTHERM、CASCADE、 BRUKER、DENTON、EVG、SENTECH、ADT、OLYMPUS、LOGITECH、SPTS、ASYMTEK、UNITEK、VISION、ROYCE、MARCH、ABM、KEKO、IDEAL、OKI、REHM 、UNIVERSAL、PHONEIX等），為向客戶提供先進的設備和專業的技術服務打下了堅實基礎。
亞科電子目前的客戶遍及國內所有軍工集團，科研院所和高端研發制造企業等領域，已成功地服務于中國電子科技集團，中國航天、中國航空、中國船舶、中國兵器集團、中國科學院各所、高校和高端制造企業等眾單位。

亞科電子歷年來秉承“專業服務，全面服務”的宗旨,為客戶提供整套技術工藝和設備方案。通過專業的技術服務，實現了真正意義上的交鑰匙工程。高性能的設備和專業的技術服務是我們成功的基石，亞科電子期待與更多國內外客戶的合作。

公司主營設備：
1. 整套半導體設備
2. 整套微組裝設備
3. 整套SMT設備
4. LTCC線和線纜加工設備