全自動晶圓卡盒清洗機功能描述：

噴淋區：共2道高壓純水沖洗（1-3道噴淋可以量身設計）；

風切區：采用高壓鼓風機，配合***率風，共4-6組上下風強力切水；

全自動晶圓卡盒清洗機干燥區：熱風循環干燥箱采用50mm厚度的保溫絕熱材料制成，由風機吹熱風并經***空氣過濾網過濾后形成內部空氣從底部至上部再回至底部的循環熱風，使工件快速完全干燥；

特征：PLC控制、觸摸屏操作，過濾循環系統、數字顯示溫度控制指示器 故障報警診斷功能設備自動運行 。

結構：該系統由上料區、高壓噴淋區、風切區，干燥區、下料區等組成。

全自動晶圓卡盒清洗機適用于：半導體、電子行業、手機玻璃，觸摸屏、電腦硬盤，新能源電池等零件包裝盒的回收利用清洗；由清洗槽、噴淋清洗系統、自動輸送系統、高壓風切系統，自動溫控系統、循環過濾系統、熱風循環干燥系統、電控系統等組成。

采用鏈條式自動輸送系統，人工在進料口放入工件（產品平放），中間清洗干燥自動實現，不用人工控制操作，清洗后的工件在下料口人工卸下。設備清洗效、操作簡單、自動化程度高，是理想的清洗設備。

全自動晶圓卡盒清洗機通用參數：

1）清洗部分設計為全封閉結構，設備腔體無漏水現象

2）清洗過程為全自動，并有自動/手動功能

3）清洗時間能自動控制，時間可調，狀態顯示

4）全自動晶圓卡盒清洗機可預加熱，加熱部分確保一小時內達到設定工藝溫度值

5）所有循環泵、風機、馬達都標有旋轉方向

6）閥門上都標有常開、常閉的標識，所有管路上都標有液體流向的頭

7）全自動晶圓卡盒清洗機管道盡可能使用焊接工藝，只是為了機器維修和運輸方便的部分才使用法蘭連接

8）每個槽均設排液口，排液口裝有可拆卸式防堵網，以防止小零件脫落進入管道中阻塞管道

9）安裝活動門，方便快速維修管道、過濾器、泵、加熱器等部件，保證生產需要

10）全自動晶圓卡盒清洗機安全方面：各段溫度過熱后系統能自動斷電并有聲光報警

11）噪聲方面：設備設計為全封閉機構，距設備1.5米、高1米處，測得噪音平均≦85分貝

12）相應槽內有液位過低報警及連鎖功能

全自動晶圓卡盒清洗機電控柜說明：

1）.獨立控制柜,有手動和自動切換功能

2）.本系統采用德國“西門子”PLC和觸摸屏,能控制顯示清洗機各工位運行狀態

3）. 全自動晶圓卡盒清洗機儲液槽安裝液位控制器，液位高低控制均接入PLC，加熱及泵浦按即定程序運行，并設有蜂鳴器、配三色工作指示燈，聲光報置

4）. 上下料處安裝緊急停車按鈕

5）.清洗機操作按鈕分布在電控柜外側，布置在清洗機進口操作工位一側，控制盤加密碼鎖定，防止非授權人員修改并設定運行參數

6）. 全自動晶圓卡盒清洗機考慮到屏柜內設備的散熱問題，屏柜設有散熱窗口及加裝散熱風扇

7）.照明：電器柜內——日光燈，電氣柜內維修照明及插座

8）. 各操作按鈕有明顯標識.

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