AC200-SE程控伺服型勻膠機

產品性能：

◆ 兩種型號可選：AC200-SE(標準型)、AC200-PE(高端型)

◆最新的內部緊湊設計，縮小設備尺寸

◆7"觸屏控制面板操作系統，更方便操作

◆Telon ?/polyethylene “密閉碗”設計適合各種材料勻膠工藝

◆標準配置轉速10000rpm，可根據用戶需要進行定制

◆工業級別伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部

◆機身選用耐腐蝕不銹鋼，內腔采用耐腐蝕HDPE材料

◆排風和抽氣系統位計于載片臺底部(以利于排風效率和勻膠均一性)

◆透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時完全隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發

技術參數：

● 旋涂程序：最多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

●轉動速度：0-10,000rpm(更高速可選)

●旋涂加速度：0-50,000rpm/sec(空載)

●馬達旋涂轉速穩定性能誤差：< ±1rpm(AC200-SE); <±0.1rpm(AC200-PE)

●轉速調節精度及重復性：1rpm(AC200-SE); 0.1rpm(AC200-PE)

●具有真空數字顯示、開關壓力調節和電子水平顯示功能

●工藝時間設定：0-3,000sec/step，時間設置精度：0.1sec

●支持wafer尺寸：碎片至200mm(8”圓晶)

●旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(需要去除邊緣3毫米區域測量)

產品外型尺寸：

●433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設備結構

●306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結構(適于嵌入式手套箱或工作臺內)