以為例：借助185nm波段的紫外線光束分解空氣中的氧分子形成游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而形成臭氧。 UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對有機廢氣和其它小分子物有立即的凈化實際效果。通過光氧催化廢氣凈化設備處理后的有機廢氣可以分解H2O和CO2等，有機廢氣處理的效率能到做到85%以上。
廣譜性：
光催化氧化對從烴到羧酸的種類眾多有機物都有效，即使對原子有機物如鹵代烴、染料、含氮有機物、有機磷也有很好的去除效果，只要經過一定時間的反應可達到完全凈化。
壽命長：在理論上，光催化劑的壽命是無限長的，無需更換。

光解氧化廢氣處理：當除塵設備開端作業時，粉塵依據顆粒大小會自行尋找自己的去處；顆粒較大的粉塵會由于體積的原因向下沉降落入灰倉，較為細微的粉塵則被吸附在濾袋的表面。：預處理一般選用預處理器，水幕過濾器，噴淋塔設備，袋式過濾器，袋式過濾器等配套加工設備及配件。焚燒法處理廢氣處理功率高，但廢氣若含有、等元素，焚燒后發作的廢氣直接外排會導致二次污染。

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光催化廢氣處理設備的工作原理和處理特點
造紙廠廢氣的主要成分是利用高能高臭氧紫外線束照射光催化廢氣處理設備中的廢氣，使有機或無機大分子氣味化合物的分子鏈在高能紫外線作用下與臭氧反應生成低分子化合物，如二氧化碳、水等本實用新型具有投資成本低、適用范圍廣、凈化效率高、操作簡單、除臭效果好、設備運行穩定、占地面積小等優點，立即使用，無二次污染
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