
非接觸式測厚儀可用于半導體多層復合結構的分層厚度檢測。部分半導體元器件采用多層薄膜復合結構,不同功能層材質(zhì)、厚度各不相同,整體結構精密復雜,傳統(tǒng)檢測設備無法區(qū)分分層厚度,能檢測整體總厚度。該設備依托高精度光譜分析技術,可識別不同材質(zhì)分層的界面信號,分別采集每一層結構的厚度數(shù)據(jù),清晰呈現(xiàn)各功能層的厚度分布狀態(tài)。在復合膜層制備工藝調(diào)試中,分層檢測數(shù)據(jù)可輔助工作人員優(yōu)化各層沉積參數(shù),提升多層結構的制程一致性。半導體晶圓背磨制程里,非接觸式測厚儀實時管控硅片整體厚度與片間均勻度。湖南白光干涉非接觸式測厚儀哪家好
在厚層結構檢測場景中,非接觸式測厚儀相比接觸式設備量程適配更廣。半導體功率器件的厚封裝膠層、絕緣厚涂層、散熱保護層厚度尺寸較大,傳統(tǒng)接觸式測厚設備量程區(qū)間有限,無法適配厚層結構檢測,容易出現(xiàn)量程超限、數(shù)據(jù)失效等問題。非接觸式測厚儀擁有寬泛的檢測量程,可兼顧超薄薄膜與厚層結構的檢測需求,無需針對不同厚度工件更換設備。能夠覆蓋半導體薄、中、厚各類結構工件的檢測作業(yè),提升設備的場景適配通用性,減少車間設備采購投入。重慶白光干涉非接觸式測厚儀哪家好芯片塑封料填充固化之后,非接觸式測厚儀測量塑封層厚度管控封裝整體外觀與穩(wěn)定性。
設備操作界面簡潔,支持多語言適配不同作業(yè)人員。半導體生產(chǎn)車間人員結構多元,包含不同從業(yè)經(jīng)驗、不同操作習慣的作業(yè)人員,部分涉外生產(chǎn)車間還存在多語種操作需求,設備操作系統(tǒng)需要具備良好的兼容性與易用性。非接觸式測厚儀搭載高清可視化多語言操作界面,功能分區(qū)清晰直觀,厚度檢測、數(shù)據(jù)查詢、文件導出、設備校準、參數(shù)預設等功能均可一鍵操作,無需輸入復雜指令。界面實時展示厚度數(shù)值、檢測時間、工件批次、檢測點位等詳細信息,清晰易懂,大幅降低不同操作人員的上手難度,有效保障各工位檢測作業(yè)的標準化、規(guī)范化落地。
非接觸式測厚儀可適配半導體防潮涂層的厚度質(zhì)控。半導體器件的防潮涂層是防護器件內(nèi)部電路的重要結構,涂層厚度均勻性直接決定器件的防潮、防腐蝕能力,厚度不均容易出現(xiàn)局部防潮失效的問題。該設備以非接觸方式完成防潮涂層全域厚度檢測,精細識別涂層偏薄、堆積、空缺等異常狀態(tài),全程不會損傷柔軟的涂層表層結構。依托詳實的檢測數(shù)據(jù),工作人員可優(yōu)化涂層涂覆速度、膠量、噴涂軌跡等參數(shù),提升防潮涂層的成型均勻度,強化器件環(huán)境適應能力。溝槽刻蝕深度關聯(lián)膜厚,非接觸式測厚儀輔助測算側壁薄膜厚度優(yōu)化刻蝕工藝窗口范圍。
針對異形結構工件檢測,非接觸式測厚儀優(yōu)勢優(yōu)于傳統(tǒng)接觸式設備。接觸式測厚設備的檢測探頭為固定結構,能適配平整、規(guī)則的平面工件,面對曲面、圓弧、凹凸異形結構,探頭無法貼合檢測面,會形成大量檢測盲區(qū),難以完成有效檢測。半導體行業(yè)異形封裝器件、曲面基板等產(chǎn)品應用日益,傳統(tǒng)設備適配性嚴重不足。非接觸式測厚儀可靈活調(diào)節(jié)檢測光路角度,適配各類異形、曲面、微凹凸結構工件,能夠覆蓋常規(guī)接觸設備無法觸及的檢測點位,完成復雜結構工件的全域厚度檢測,適配多元化的半導體產(chǎn)品結構檢測需求。第三代半導體模組組裝前,非接觸式測厚儀篩查襯底厚度不良品降低模組組裝報廢比例。山東線粗糙度測量非接觸式測厚儀一般多少錢
光刻返工晶片復檢作業(yè),非接觸式測厚儀檢測殘膠厚度確定二次旋涂光刻膠工藝參數(shù)值。湖南白光干涉非接觸式測厚儀哪家好
非接觸式測厚儀相較于傳統(tǒng)接觸式測厚設備,在工件防護層面具備明顯使用優(yōu)勢。半導體生產(chǎn)所用的晶圓、薄膜、膠層基材質(zhì)地輕薄脆弱,接觸式設備依靠探針、壓頭貼合工件表面完成測量,作業(yè)中容易對工件表層產(chǎn)生擠壓摩擦,引發(fā)劃痕、凹陷、涂層脫落等問題,造成工件報廢損耗。非接觸式設備依托光學感應模式完成檢測,全程不與工件表層產(chǎn)生任何物理觸碰,能夠有效規(guī)避機械接觸帶來的表面損傷。無論是未固化的軟性膠層、拋光后的光潔基材,還是超薄易折的薄膜材料,都可在完好無損的狀態(tài)下完成厚度檢測,大幅降低精密半導體工件的檢測損耗率,適配各類高精密、高完好度要求的質(zhì)檢場景。湖南白光干涉非接觸式測厚儀哪家好
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無錫奧考斯半導體設備有限公司成立于2021年1月,是一家專注于半導體檢測設備自主研發(fā)和品牌銷售的高新科技企業(yè),屬于國家芯火計劃平臺的孵化企業(yè)。公司在馬來西亞吉隆坡設有研發(fā)中心,在上海設有銷售中心,并在無錫擁有產(chǎn)品展示中心和生產(chǎn)基地。 奧考斯致力于推動半導體行業(yè)的發(fā)展,已經(jīng)推出了多款系列產(chǎn)品,包括晶圓自動上下料檢查機、多功能晶圓測量儀、定焦影響測量系統(tǒng)、CD測量機、溢膠高度測量儀和上下齊焦顯微鏡等。這些產(chǎn)品在市場上得到了廣泛應用,已成功銷售給多家國內(nèi)企業(yè),如上海積塔、杭州美迪凱、通富微電、長電先進、華天、盛合晶微、合肥至純、安徽長飛、南京芯德、南京長晶、長電紹興、中芯國際、天津恩智浦和禾芯等。 公司憑借其強大的研發(fā)能力和產(chǎn)品,逐漸在半導體設備領域樹立了良好的品牌形象。未來,奧考斯將繼續(xù)致力于技術創(chuàng)新和市場拓展,為客戶提供更高效的半導體檢測解決方案。







