
設備具備數(shù)據(jù)異常預警功能,便于及時處置制程問題。非接觸式測厚儀可提前錄入各類半導體工件對應的厚度標準區(qū)間與公差范圍,適配晶圓、薄膜、膠層、鍍層等不同工件的質檢標準。在批量檢測作業(yè)過程中,若采集的厚度數(shù)值超出預設標準范圍,設備會自動觸發(fā)聲光預警提示,時間提醒現(xiàn)場操作人員介入處理。所有異常檢測數(shù)據(jù)會單獨標記、分類存儲,方便后續(xù)工藝復盤、數(shù)據(jù)統(tǒng)計與問題溯源。該預警功能可讓工作人員快速篩選隔離不良品,及時排查產(chǎn)線工藝漂移、設備參數(shù)偏移等問題,避免異常工件持續(xù)流入下一工序,有效提升制程問題處置效率。先進制程芯片工藝研發(fā),非接觸式測厚儀連續(xù)采集厚度數(shù)據(jù)支撐新工藝量產(chǎn)可行性驗證。陜西白光共聚焦非接觸式測厚儀定制
針對柔性半導體器件檢測,非接觸式測厚儀相比接觸式設備優(yōu)勢突出。柔性芯片、柔性薄膜電路、可彎曲封裝基材等器件柔韌性高、支撐性差,接觸式設備的按壓接觸會讓工件產(chǎn)生不可逆形變,不僅破壞產(chǎn)品結構,還會導致檢測數(shù)值嚴重失真,無法反映真實制程品質。非接觸式測厚儀全程無物理按壓、無表面摩擦,不會對柔性器件產(chǎn)生任何形變影響,能夠在工件保持原始狀態(tài)的前提下完成厚度檢測。適配各類柔性半導體器件的量產(chǎn)質檢與工藝調試,助力柔性半導體產(chǎn)品的規(guī)模化生產(chǎn)落地。黑龍江總厚度測量非接觸式測厚儀化合物半導體基板分選時,非接觸式測厚儀批量篩查厚薄不良品提升原料利用率。
針對異形結構工件檢測,非接觸式測厚儀優(yōu)勢優(yōu)于傳統(tǒng)接觸式設備。接觸式測厚設備的檢測探頭為固定結構,能適配平整、規(guī)則的平面工件,面對曲面、圓弧、凹凸異形結構,探頭無法貼合檢測面,會形成大量檢測盲區(qū),難以完成有效檢測。半導體行業(yè)異形封裝器件、曲面基板等產(chǎn)品應用日益,傳統(tǒng)設備適配性嚴重不足。非接觸式測厚儀可靈活調節(jié)檢測光路角度,適配各類異形、曲面、微凹凸結構工件,能夠覆蓋常規(guī)接觸設備無法觸及的檢測點位,完成復雜結構工件的全域厚度檢測,適配多元化的半導體產(chǎn)品結構檢測需求。
非接觸式測厚儀可用于半導體多層復合結構的分層厚度檢測。部分半導體元器件采用多層薄膜復合結構,不同功能層材質、厚度各不相同,整體結構精密復雜,傳統(tǒng)檢測設備無法區(qū)分分層厚度,能檢測整體總厚度。該設備依托高精度光譜分析技術,可識別不同材質分層的界面信號,分別采集每一層結構的厚度數(shù)據(jù),清晰呈現(xiàn)各功能層的厚度分布狀態(tài)。在復合膜層制備工藝調試中,分層檢測數(shù)據(jù)可輔助工作人員優(yōu)化各層沉積參數(shù),提升多層結構的制程一致性。功率半導體硅片拋光后,非接觸式測厚儀快速測繪整片厚度分布數(shù)據(jù)便于工藝調整。
在透光薄膜檢測領域,非接觸式測厚儀相比接觸式設備適配性更佳。半導體光刻膠膜、鈍化膜、絕緣透光涂層等材質透光性強,接觸式設備依靠物理接觸無法區(qū)分透光膜層與基底結構,難以單獨測算薄膜厚度,檢測數(shù)據(jù)混雜基底參數(shù),參考價值較低。非接觸式測厚儀利用光譜透射與反射差異識別膜層界面,可有效區(qū)分透光薄膜與基材基底,單獨采集表層透光膜層的厚度數(shù)據(jù),不受材質透光、折射特性影響。能夠精細管控各類透光功能薄膜的制程厚度,填補接觸式設備在透光材質檢測中的應用短板。硅片雙面研磨收尾環(huán)節(jié),非接觸式測厚儀對比兩面厚度差值把控研磨工藝穩(wěn)定性。黑龍江總厚度測量非接觸式測厚儀
半導體實驗室新材料研發(fā),非接觸式測厚儀長期記錄厚度數(shù)據(jù)助力新型芯片材料迭代升級。陜西白光共聚焦非接觸式測厚儀定制
非接觸式測厚儀可用于半導體半成品流轉檢測,把控制程中間品質。半導體生產(chǎn)工序鏈條較長,基材加工、鍍膜、光刻、封裝等多道工序流轉中,半成品容易出現(xiàn)厚度參數(shù)偏移問題。在工序流轉節(jié)點設置該設備,可完成半成品厚度抽檢,及時發(fā)現(xiàn)制程參數(shù)異常。相較于末端成品檢測,中間工序檢測可提前排查問題,避免批量半成品持續(xù)加工產(chǎn)生大規(guī)模不良品。通過分段式厚度管控,鎖定參數(shù)偏差出現(xiàn)的工序節(jié)點,減少后續(xù)無效加工,提升整體生產(chǎn)良品率。陜西白光共聚焦非接觸式測厚儀定制
無錫奧考斯半導體設備有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標,有組織有體系的公司,堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明,攜手共畫藍圖,在江蘇省等地區(qū)的儀器儀表行業(yè)中積累了大批忠誠的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎,也希望未來公司能成為行業(yè)的翹楚,努力為行業(yè)領域的發(fā)展奉獻出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強不息,斗志昂揚的的企業(yè)精神將引領無錫奧考斯半導體設供應和您一起攜手步入輝煌,共創(chuàng)佳績,一直以來,公司貫徹執(zhí)行科學管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠實守信的方針,員工精誠努力,協(xié)同奮取,以品質、服務來贏得市場,我們一直在路上!
無錫奧考斯半導體設備有限公司成立于2021年1月,是一家專注于半導體檢測設備自主研發(fā)和品牌銷售的高新科技企業(yè),屬于國家芯火計劃平臺的孵化企業(yè)。公司在馬來西亞吉隆坡設有研發(fā)中心,在上海設有銷售中心,并在無錫擁有產(chǎn)品展示中心和生產(chǎn)基地。 奧考斯致力于推動半導體行業(yè)的發(fā)展,已經(jīng)推出了多款系列產(chǎn)品,包括晶圓自動上下料檢查機、多功能晶圓測量儀、定焦影響測量系統(tǒng)、CD測量機、溢膠高度測量儀和上下齊焦顯微鏡等。這些產(chǎn)品在市場上得到了廣泛應用,已成功銷售給多家國內企業(yè),如上海積塔、杭州美迪凱、通富微電、長電先進、華天、盛合晶微、合肥至純、安徽長飛、南京芯德、南京長晶、長電紹興、中芯國際、天津恩智浦和禾芯等。 公司憑借其強大的研發(fā)能力和產(chǎn)品,逐漸在半導體設備領域樹立了良好的品牌形象。未來,奧考斯將繼續(xù)致力于技術創(chuàng)新和市場拓展,為客戶提供更高效的半導體檢測解決方案。








