功能特點
■ 可以實現高溫、真空、氣氛等條件下測量薄膜方塊電阻;
■ 可以實現常溫，變溫，恒溫條件的 I-V、R-T、R-t等測量功能;
■ 可以通過輸入樣品的面積和厚度，軟件自動計算樣品的電阻率ρv;
■ 可以分析電阻率ρv與溫度T的變化的曲線;
■ 可以與Keithley 2400或2600數字多用表配套;
為了更方便的研究高溫條件下半導體或絕緣材料的導電性能，佰力博科技已經研發出HRMS-800G高溫四探針測量系統，該系統可以測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻,,該設備按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用于變溫、真空及氣氛條件下測試半導體材料電學性能的最佳測量系統。

詳細產品鏈接/gwstz/hrms800gws.html
客 服 熱 線：400-600-9734


■ 技術規格
溫度范圍：室溫-600°C	升溫斜率：3°C /min (典型值）
顯示精度：±0.1°C	控溫精度：±1°C
電阻：10～106 Ω	電阻率：10～106 Ω.cm
方塊電阻：10～106 Ω/□	可測半導體材料尺寸 ：薄膜直徑： Φ15～30mm
探針間距：2±0.01mm	探針壓力: 0～2kg可調,最大壓力約2kg
針間絕緣材料：99陶瓷或紅寶石	針間絕緣電阻：≥1000MΩ
探針材料：碳化鎢	數據傳輸：2個USB接口

HRMS-800 高溫四探針測量系統HRMS-800 高溫四探針測量系統HRMS-800 高溫四探針測量系統

■ 訂購信息
HRMS-800 高溫四探針測量系統	Part Number
HRMS-800  測量溫度 室溫-300°C	HRMS8H001
HRMS-800  測量溫度 室溫-600°C ,帶真空氣氛	HRMS8H002
01測量儀表選件	 
/A 2400數字源表、USB-GIPB卡及測量電纜	HRMS8H01A
/B 渦旋式干泵	HRMS8H01B
/C 旋片真空泵	HRMS8H01C
附件	 
薄膜四探針更換套件	PLHS-4
溫度控制板替換件	PLWKB
高溫傳感器替換件	PLK-1000

■ NOTE
標準配置含主機、固體園片樣品測量夾具、測量分析軟件、標準樣品工具箱、電源線、測量導線、測試報告、操作說明書。

佰力博科技（Partulab Technology Co. Ltd）()，位于中國光谷武漢東湖高新技術開發區，主要涉及真空、高低溫、磁性、電學測量等領域，是材料物理性能表征和測量行業領軍品牌。Partulab 一詞，演化自“Partner in Your Lab”，寓意為科學研究的事業合作伙伴。秉承“科研創新，相伴成長”的品牌理念，佰力博科技不斷的為科研人員提供更優質、最具性價比的產品和服務。
佰力博科技的核心價值，在于時刻洞察市場需求，為材料物性測量帶來精確可靠的數據結果；在于深入了解研發和應用雙向需求，為科學工作者、科研實驗室定制更為尖端的物性檢測解決方案，為客戶發明創造的成功、科技成果的展現奠定堅實基礎。作為國內成員之一從事高低溫環境下材料物理性能表征研究的科技企業，佰力博科技填補了國內設備制造商的空白，以開創者和先鋒者的決心，為中國在本領域的自主創新能力超越國際先進水平而不斷拼搏。佰力博科技擁有資深的研究開發隊伍、豐富的資料數據庫、安全穩定的生產體系與完善的質量保證體系，我們的客戶已經涵蓋航空航天、軍工、電子、科研院所及高新技術企業。