白光干涉儀 白光干涉儀的檢測應用 結合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結合顯微物鏡與干涉儀，不需要復雜的光路調整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學易用等優點，可提供垂直掃描高度達400μm之微三維量測，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應用領域包含： ·晶圓（Wafer） ·光盤/硬盤（DVD Disk/Haed Disk） ·微機電組件（MEMS Components） ·平面液晶顯示器（LCD） ·高密度線路印刷電路板（HDI PCB） ·IC封裝（IC Package） ·以及其他材料分析與組件微表面研究   高速精密的干涉條紋解析軟件（ImgScan） ·系統硬件搭配ImgScan前處理軟件自動解析白光干涉條紋。 ·垂直高度分辨率可達0.1nm。 ·高速的分析算法則，讓您不在苦候量測結果。 ·垂直掃描范圍的設定輕松又容易。 ·10×，20×與50×倍率的物鏡可供選擇。 ·平臺X、Y、Z位置數顯式顯示，使檢測標的尋找快速又便利。 ·具有手動/自動光強度調整功能以取得最佳的干涉條紋對比。 ·具有高精度的PVSI與高速的VSI掃描量測模式供7選擇。 ·具有專利的解析算法則，可處理半透明物體的3D形貌。 ·具有自動補點功能。 ·可自行設定掃描方向。   專業級的3D圖形處理與分析軟件（PostTopo） ·提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析。 ·提供自動表面平整化處理功能。 ·提供階高標準片的軟件自校功能。 ·深度/高度分析功能，提供線型分析與區域分析等兩種方式。 ·線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（roughness）與起伏度（waviness）的量測分析。可提供多達17種的ISO量測參數與4種額外量測數據。 ·區域分析方式提供圖形分析與統計分析。具有平滑化、銳化與數字濾波等多種二維快速傅利葉轉換（FFT）處理功能。 ·量測分析結果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是以Excel文本文件格式輸出。       機臺規格： 導購推薦
類型 白光干涉儀 品牌 Rational/萬濠 型號 SWIM1510MS白光干涉儀 品種 其他干涉儀 測量范圍 150mm×100mm 測量分辨率 0.1nm 最近工作距離 80mm（mm） 用途 結合光學顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結合顯微物鏡與干涉儀，不需要復雜的光路調整程序

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