氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller)/氣體質量流量計（Mass Flow Metre)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制，特別是對于微小質量流量的測量和控制。D600系列數字型氣體質量流量計/控制器精度高、重復性好、穩定性高、工作壓力范圍寬，廣泛應用于能源、電力、化工、醫療、半導體等各個領域。

【氣體流量計產品特點】
◆ 本地高清晰中文液晶顯示；
◆ 適用較低的流量，精確測量各種量程的流量，較低量程0~5 SCCM( 標準毫升/分鐘）；
◆ 數字、模擬量輸入輸出；
◆ 可連接上位機軟件控制運行；
◆ 較低的零漂和溫漂；
◆ 多氣體、多量程、高精度，響應時間短；
◆ 多種可量程可供選擇：
     流量規格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
      （0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM

【注】

SLM和SCCM都常常是氣體質量流量單位。
SLM（Standard Liter per Minute）是表示每分鐘標準升。
SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）是表示每分鐘標準毫升。

【氣體質量流量計參數】

產品名稱	 氣體質量流量控制器,氣體質量流量計
 適用介質	 潔凈、干燥的氣體（不能含水汽、油）
 量程范圍（N2)	  (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
（0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM
 公稱壓力	 0～10MPa
 環境溫度	 5～65℃
 測量精度	 ±1.0%
 響應時間	  < 1秒
 殼體材質	 不銹鋼；
 供電方式	 外供7～16VDC（帶電源適配器）；
 輸出信號	 4～20mA；0～5V；RS232/RS485
 差壓范圍	 0.05～0.3MPa；
 表頭顯示	 累積流量；瞬時流量；工作模式；閥控狀態
 連接方式	 卡套連接Φ3,Φ6,Φ8,Φ10


【氣體質量流量計原理】

氣體質量流量計由質量流量計傳感器、分流器通道、流量控制調節閥、放大控制電路組成。被測氣體分成兩個層流區，一個通過主流量管道，另一個通過毛細管。*特的設計確保兩個管路里的流體都是層流狀態，因此兩個管路的流量比是恒定的。工作時，毛細管上兩個精確的溫度感應繞組被加熱，當有流量時，被加熱的氣體從上游到下游流動，在兩個感應繞組之間產生了溫差，溫差與電阻的變化成比例關系。

用惠斯頓電橋來測量溫度感應繞組的溫度變化差值。惠斯頓電橋的輸出通過ADC(模數轉換)轉換成12位的數字信號。

微處理器和非易失性存儲器存儲了所有的標定數據，直接控制操作比例電磁閥。這個數字閉環控制系統不斷的比較當前的流量值與設定值，如果與設定值偏離，通過調整閥門進行修正，PID算法運算實現高精確度的控制。根據被測氣體的流量大小輸出0…5VDC或者4…20mA信號。



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