1．概漏的基本概念 
    真空檢漏就是檢測真空系統(tǒng)的漏氣部位及其大小的過程。 
    漏氣也叫實(shí)漏，是氣體通過系統(tǒng)上的漏孔或間隙從高壓側(cè)流到低壓側(cè)的現(xiàn)象。     虛漏，是相對(duì)實(shí)漏而言的一種物理現(xiàn)象。這種現(xiàn)象是由于材料放氣、解吸、凝結(jié)氣體的再蒸發(fā)、氣體通過器壁的滲透及系統(tǒng)內(nèi)死空間中氣體的流出等原因引起真空系統(tǒng)中氣體壓力升高的現(xiàn)象。 



?     氣密性是表征真空系統(tǒng)器壁防止氣體滲透的性能，它包括通過漏孔(或間隙)的漏氣和材質(zhì)的滲氣。 
    較小可檢漏率是指某種檢漏方法能夠檢測出的漏率的較小值。 
    較佳靈敏度是指檢漏儀器或檢漏方法在較佳條件下所能檢測出的較小漏率。對(duì)于檢漏儀器來講，較佳靈敏度又稱作儀器靈敏度。 
    檢漏靈敏度是指在具體條件下，某種檢漏方法所能檢測出的較小漏率。檢漏靈敏度又稱作有效靈敏度。 
    反應(yīng)時(shí)間，即從檢漏方法開始實(shí)施(如開始噴吹示漏氣體)到指示方法(如儀表)做出反應(yīng)的時(shí)間。 
    消除時(shí)間，即從檢漏方法停止(如停止噴吹且開始抽出示漏氣體)到指示方法的指示消失的時(shí)間。 
    漏率，即單位時(shí)間內(nèi)流過漏孔(包括間隙)的氣體量。 
 2．漏孔、漏率及其單位 
    真空技術(shù)中所指的漏孔，由于尺寸微小、形狀復(fù)雜、形式多樣(如圖1所示)，無法用幾何尺寸表示其大小。所以一般用等效流導(dǎo)或漏氣速率(簡稱為漏率)表示漏孔的大小。     用漏率表示漏孔大小時(shí)，如果不加特殊說明，則是指在漏孔入口壓力為1.01×105
Pa，出口壓力低于1.33×103
Pa，溫度為296士3K的標(biāo)準(zhǔn)條件下，單位時(shí)間內(nèi)流過漏孔的露點(diǎn)溫度低于248K的空氣的氣體量。 
    漏率的單位是帕斯卡×立方米／秒，記為Pam3
／s。為了方便，有時(shí)用帕斯卡×升／秒，記為PaL／s。
3．較大容許漏率 
    真空系統(tǒng)漏氣是**的，不漏氣是相對(duì)的在真空檢漏技術(shù)中所指的“漏”是和較大容許漏率的概念聯(lián)系在一起的。 
    對(duì)于動(dòng)態(tài)真空系統(tǒng)，只要其平衡壓力能夠達(dá)到所要求的真空度，這時(shí)即使存在著漏孔，也可以認(rèn)為該系統(tǒng)的漏率是容許的，該情況下系統(tǒng)的漏率稱為較大容許漏率。動(dòng)態(tài)真空系統(tǒng)的較大容許漏率qLmax應(yīng)滿足     qLmax≤1/10PwS        (1)     式中Pw----系統(tǒng)工作壓力     S----系統(tǒng)的有效抽速 
  對(duì)于靜態(tài)真空系統(tǒng)，要求在一定時(shí)間內(nèi)，其壓力維持在容許的壓力以下，這時(shí)即使存著漏孔，同樣叮以認(rèn)為該系統(tǒng)的漏率是容許的，該情況下系統(tǒng)的漏率稱為較大容許漏率。如果要求在時(shí)間t內(nèi),容積為V的系統(tǒng)的壓力由p升至pt，則其較大容許漏率qLmax應(yīng)滿足     qLmax≤(pt-p)V/t    
 (2)  各種真空設(shè)備的較大容許漏率可參考表1確定。
4．漏孔的氣流特性 
    氣體流經(jīng)漏孔的過程是很復(fù)雜的，可能包含有粘滯流、過渡流及分子流三種流動(dòng)狀態(tài)。主導(dǎo)流動(dòng)狀態(tài)與漏孔的幾何尺寸、氣體的種類、漏孔兩端的壓力及環(huán)境溫度有關(guān)。設(shè)環(huán)境溫度T=296K，入口壓力p2=1.01×105
Pa，出口壓力p1《p2，漏孔長L，直徑d的均勻圓截面導(dǎo)管型漏孔，其對(duì)空氣的漏率及可視流動(dòng)狀態(tài)見表2。
 5．檢漏方法的分類 
    檢漏方法很多，根據(jù)被檢件所處的狀態(tài)可分為充壓檢漏法、真空檢漏法及其它檢漏法。     充壓檢漏法：在被檢件內(nèi)部充入一定壓力的示漏物質(zhì)，如果被檢件上有漏孔，示漏物質(zhì)便從漏孔漏出，用一定的方法或儀器在被檢件外部檢測出從漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充壓檢漏法。 
    真空檢漏法：被檢件和檢漏器的敏感元件處于真空狀態(tài)，在被檢件的外部施加示漏物質(zhì)，如果有漏孔，示漏物質(zhì)就會(huì)通過漏孔進(jìn)入被檢件和敏感元件的空間，由敏感元件檢測出示漏物質(zhì)，從而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，這就是真空檢漏法。 
    其它檢漏法：被檢件既不充壓也不抽真空，或其外部受壓等方法歸入其它檢漏法。背壓法就是其中主要方法之一。 
    所謂“背壓檢漏法”是利用背壓室先將示漏氣體由漏孔充入被檢件，然后在真空狀態(tài)下使示漏氣體再從被檢件中漏出．以某種方法(或檢漏儀)檢測漏出的示漏氣體，判定被總漏率的方法
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