真空計的原理



? 按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規（Bourdon）和薄膜電容規；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規和熱電偶規；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規和冷陰極電離規。
薄膜電容規
在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規的優點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學性能的影響，使用前一般需要預熱數小時。
皮拉尼電阻規
由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同，當給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準確度。
這種規的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同，所以這種規需要在不同的使用氣體下標定。
熱電偶規
熱電偶規與皮拉尼電阻規基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規一樣，這種規也需要在不同的使用氣體下標定。
真空計的校準
1. 一般先校準零點，再進行滿度校準。
校準零點。校準零點需對被測真空系統抽真空，一旦電離規測得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9 X10^-2Pa)，按“校零”按鈕，對應指示燈亮或快速閃爍，真空計自動校正零點，當顯示1.0^-1Pa時，表示規管零點已校準。對于無自動零點校準的電阻真空計，可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調整。
2.滿度校正。校準完零點后，需對其滿度校正。按滿度校正過程要求，對被測爐腔放人大氣，確保被校電阻規所測位置為大氣狀態，在大氣壓下工作約10分鐘。按“滿度”按鈕，對應指示燈亮或快速閃爍，真空計自動校正滿度，當顯示1.0^5 Pa時，表示規管滿度已校準。對于無自動滿度校準的電阻真空計，可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調整。
聯系人：周玉紅            

   上海振暢機電科技有限公司坐落于上海市寶山區東太路128號，是一家專業銷售進口真空泵及配套設備的企業，目前業務已與上海周邊地區廣大客戶確立了良好的合作關系，公司專業經營銷售進口真空產品，并進行專業維修及維護保養。主營德國萊寶真空泵，同時經營：普旭真空泵等；英國愛德華真空泵等產品。公司經營的萊寶真空泵及國內知名品牌真空泵暢銷消費者市場。真空泵品種齊全、價格合理。
 “一流技術、世界品質、全面系統服務”是我們永恒不變的宗旨。
本公司產品廣泛應用于
◇ 照明行業、制冷 ◇ 冷凍干燥及空調 ◇汽車制造、 材料研究、科技領域
◇ 包裝、食品工業、電光源制造 ◇ 氣體分析 ◇ 航天工業
◇電力、 化工、制藥 ◇ 半導體生產、真空鍍膜
◇ 真空冶金及真空爐制造 ◇ 真空檢測 

主營產品：
德國萊寶真空泵、普旭真空泵、貝克，里其樂等進口真空泵維修保養，進口真空泵過濾器、真空泵油濾器、各種進口真空泵旋片、葉片、真空連接件、真空泵配件、進口真空泵油LVO130、GS77、LVO100、N62、GS32、LVO108、N62H、DC704、VM-100、HVG高真空潤滑脂等。
Mechanical & Electrical Technology Co., Ltd. Shanghai Zhen Chang
上海振暢機電科技有限公司
聯系人：周玉紅            
TEL:+86-（0）21-56010669 
Cellular phone:  
Fax: +86-（0）21-6601273 
E-mail:zhenchang588 @：