干式真空泵對于泵油的要求　　干式真空泵因?yàn)槟p面和外表疲倦比較容易出現(xiàn)磨損的情況，都是與光滑的條件是有關(guān)系。表現(xiàn)良好的泵油可以有利于控制磨損的腐蝕，可以有效的減輕磨損程度。接下來一起了解下干式真空泵對于泵油的要求吧。

　　一、泵油的密封性。干式真空泵對泵油的密封性有很大的要求，爪式真空泵廠家，真空泵油需要有一定的粘度，在低溫的條件下可以使干式真空泵快速轉(zhuǎn)動。在高溫的條件下泵油要有良好的密封性，使得泵內(nèi)的泵油具有較低的溫差；

　　二、泵油要有一定的飽和蒸汽壓。飽和蒸汽壓是衡量真空泵油最重要的指標(biāo)。指的是在恒溫的密閉容器中，爪式真空泵維修，氣液達(dá)到一種動態(tài)平衡的壓力就為飽和蒸汽壓；

　　三、光滑性。

干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：

1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;

4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，爪式真空泵，適合用干式真空泵;

5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。

近年來，干式機(jī)械真空泵得到迅速的發(fā)展，爪式真空泵型號，國外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。國內(nèi)的許多單位也一直在進(jìn)行干式機(jī)械真空泵的開發(fā)研制工作，如東北大學(xué)、沈陽真空技術(shù)研究所、上海真空泵廠等。目前，干式機(jī)械真空泵主要分為接觸型及非接觸型。接觸型的干式泵有葉片式、凸輪式、往復(fù)活塞式、膜片式等，這類泵的速度較低，適用于小容量高壓縮比(單級壓縮比)。非接觸型的干式泵有羅茨型、爪型、螺桿型、渦旋型等，其速度較高，適用大容量，低壓縮比(指單級壓縮比)。不同類型的干式泵具有各自的特點(diǎn)。使用時(shí)可根據(jù)不同的用途加以選擇。

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