CPS-7000低溫真空探針臺可以對材料或器件進行電學(xué)特性測量、光電特性測量、參數(shù)測量、高阻測量、DC測量、RF測量和微波特性測量，為了提高系統(tǒng)的實用性，系統(tǒng)還可以提高3.2K的溫度擴展選件、震動隔離裝置、LN2杜瓦、高放大倍數(shù)的顯微鏡、分子泵組、熱輻射屏的溫度控制裝置、探針臂的光纖電纜、光學(xué)樣品架等選件。

技術(shù)規(guī)格 
溫度范圍：80k-475K（液氮制冷），4.2K-475K(液氦制冷） 
選配低溫選件后，溫度可降低到3.2K;選配高溫選件，溫度范圍為20K-675K；控溫穩(wěn)定性：±50 mK 
制冷劑消耗：<1.5L/hr@LHe     <0.5L/hr@LH2 
降溫時間：液氦~30min to 10K ,~60min to 5K；液氮~45min to 110K，~60min to 80K 
最大測試樣品尺寸：直徑51mm 
XYZ位移平臺行程與精度：X軸51mm，精度20μm；Y軸25mm，精度10μm；Z軸25mm，精度10μm 
頻率范圍：測量DC到67GHz 
真空環(huán)境：~10-5-10-6mbar
頂部光學(xué)觀察窗：標準2.0“（51mm）； 
4個直流探針臂，最多可使用6個探針臂，每個探針臂上配有三同軸接頭及配套電纜

■ 顯微成像裝置
便于觀察微型樣品測量，設(shè)有聚焦視覺系統(tǒng)，LCD19監(jiān)視器、USB Camera位移臺的Monoscopes光學(xué)觀測組件，選擇合適的放大倍率和光源，可以清晰查看探針針尖位置，以便準確無誤的進行樣品測試；

■ 探針臺
將樣品放入探針臺，通過調(diào)節(jié)探針桿控制探針夾持樣品進行測量，可以通過頂部玻璃觀察窗觀察樣品情況和探針位置；

■ 三維位移臺
X/Y/Z驅(qū)動距離分別為50/25/25mm，X是導(dǎo)入桿軸向，Y是導(dǎo)入桿水平徑向，Z是導(dǎo)入桿上下方向。三維位移臺搭配壓縮波紋管，實現(xiàn)真空環(huán)境下三維調(diào)整，兩者中間連接電極安裝座，可以適配不通接口的真空feedthroughs；

■ 氣動隔振臺
采用低固有頻率的空氣彈簧作為振動隔離材料，并在支撐架上安裝了三個水平自動調(diào)節(jié)閥，以搭載低溫探針臺進行隔離振動干擾實驗。

標準配置： 
低溫真空探針臺：包含探針臺、顯微成像裝置、三維位移平臺、阻尼隔振臺、液氮液氦制冷平臺

選購件：氣動隔振臺、阻尼隔振臺、3.2K低溫選件、高溫選件、帶充氣增壓杜瓦瓶、電動控制杜瓦瓶、泵管道隔震裝置、無油壓縮機、機械泵、分子泵機組等。