Zeta-300 光學輪廓儀
發(fā)布時間： 2019-04-18   |  瀏覽[ 91 ]次  
 

 
產(chǎn)品描述
Zeta-300光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。 Zeta-300繼承了Zeta-20的功能，并增加了隔離選項以及處理更大樣品的靈活性。 該系統(tǒng)采用獲得專利的ZDot?技術(shù)和Multi-Mode （多模式)光學系統(tǒng)，可以對各種不同的樣品進行測量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級別的臺階高度。

Zeta-300的配置靈活并易于使用，并集合了六種不同的光學量測技術(shù)。ZDot?測量模式可同時收集高分辨率3D掃描和True Color無限遠焦距圖像。其他3D測量技術(shù)包括白光干涉測量、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot或集成寬帶反射計都可以對薄膜厚度進行測量。Zeta-300也是一種高端顯微鏡，可用于樣品復檢或自動缺陷檢測。 Zeta-300通過提供全面的臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

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主要功能
·        采用ZDot和Multi-Mode（多模式）光學器件的簡單易用的光學輪廓儀，具有廣泛的應用

·        可用于樣品復檢或缺陷檢測的高質(zhì)量顯微鏡

·        ZDot：同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠焦點圖像

·        ZXI：白光干涉測量技術(shù)，適用于z向分辨率高的廣域測量

·        ZIC：干涉對比度，適用于亞納米級別粗糙度的表面并提供其3D定量數(shù)據(jù)

·        ZSI：剪切干涉測量技術(shù)提供z向高分辨率圖像

·        ZFT：使用集成寬帶反射計測量膜厚度和反射率

·        AOI：自動光學檢測，并對樣品上的缺陷進行量化

·        生產(chǎn)能力：通過測序和圖案識別實現(xiàn)全自動測量



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主要應用
·        臺階高度：納米到毫米級別的3D臺階高度

·        紋理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度

·        外形：3D翹曲和形狀

·        應力：2D薄膜應力

·        薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度

·        缺陷檢測：捕獲大于1μm的缺陷

·        缺陷復檢：采用KLARF文件作為導航以測量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

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工業(yè)應用
·        LED：發(fā)光二極管和PSS（圖案化藍寶石基板）

·        半導體和化合物半導體

·        半導體 WLCSP（晶圓級芯片級封裝）

·        半導體FOWLP（扇出晶圓級封裝）

·        PCB和柔性PCB

·        MEMS（微機電系統(tǒng)）

·        醫(yī)療設備和微流體設備

·        數(shù)據(jù)存儲

·        大學，研究實驗室和研究所

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北京億誠恒達科技有限公司，位于北京海淀中關(guān)村核心區(qū)域，是一家專門代理經(jīng)銷進口科學儀器、測試測量設備的高科技企業(yè)，所經(jīng)營的產(chǎn)品涵蓋材料科學、化學分析、綠色能源、半導體及微電子科學等領域。公司本著“誠信、務實、品質(zhì)、服務”的經(jīng)營理念，竭誠為國內(nèi)廣大用戶提供先進的儀器設備，專業(yè)的技術(shù)咨詢和完善的售后服務。 

公司主營產(chǎn)品：氣體純化器，儲氫材料PCT測試儀，電化學工作站，恒電位儀，多通道電化學工作站，旋轉(zhuǎn)圓盤環(huán)盤電極RDE，石英晶體微天平QCM，摩擦磨損試驗機，三維形貌儀，輪廓儀，臺階儀，原子力顯微鏡AFM，疲勞試驗機，萬能材料試驗機，扭轉(zhuǎn)彎曲試驗機，扭矩測試儀等。

公司擁有一流國際貿(mào)易和商務物流管理的專業(yè)人才，可提供代理進出口、代辦免稅手續(xù)、代辦報關(guān)、運輸、保險、商檢等服務。也可提供國際貿(mào)易等方面商務咨詢服務。 

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